MKY-SBC-12 小型離子濺射儀
產(chǎn)品特點(diǎn)
特殊密封結(jié)構(gòu),玻璃不易損壞
操作方便,無(wú)需培訓(xùn)即可使用
維護(hù)成本低,無(wú)需上門(mén)安裝
應(yīng)用領(lǐng)域
本儀器主要適用于掃描電鏡鍍覆導(dǎo)電膜,儀器操作簡(jiǎn)單方便,是樣品制備的儀器。適用的靶材:金、鉑、鉻、銀、鈦、銅、鎳、金鈀合金等。
技術(shù)指標(biāo)
真空系統(tǒng):兩級(jí)直聯(lián)旋片真空泵
真空檢測(cè):皮氏計(jì)
真空保護(hù):配有微量充氣閥,用于調(diào)節(jié)離子流的大小
工作氣體:空氣或氬氣
尺寸
工作腔室:內(nèi)徑Ф100 x 130毫米
載物臺(tái):小載物臺(tái)直徑Ф40毫米, 可同時(shí)放六個(gè)樣品杯;大載物臺(tái)直徑Ф60毫米
金靶尺寸:Ф58毫米
MKY-SBC-12 小型離子濺射儀
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